激光气体

主流激光气体类型：

1. 二氧化碳 (CO₂) 激光气体（工业最常用）

• CO₂：产生 10.6 μm 红外激光（核心）

• N₂：共振能量转移，提升效率

• He：高效导热、稳定放电、延长寿命

• 应用：金属 / 非金属切割、焊接、雕刻、医疗（祛斑、嫩肤）

2. 氦氖 (He-Ne) 激光气体

• 波长：632.8 nm（红光）

• 特点：光束极稳、相干性好、低功率

• 应用：精密测量、对准、扫码、教学实验

3. 准分子激光气体（光刻 / 医疗）

• ArF (193 nm)：7nm/5nm 芯片光刻、近视手术

• KrF (248 nm)：90nm 以上制程、MEMS 器件

• XeCl (308 nm)：皮肤病治疗、材料退火

• 特点：深紫外、高光子能量、脉冲工作

• 应用：半导体光刻、眼科屈光手术、精细微加工

4. 其他特种激光气体

氩离子 (Ar⁺)：高纯氩气，产生蓝 / 绿光（科研、光谱）

• 一氧化碳 (CO)：中红外（5-6 μm），金属加工、遥感

• 氦镉 (He-Cd)：紫外（325/442 nm），荧光检测