名 称：四氟化硅
CAS号：7783-61-1
纯 度：≥99.999%（5N）/ ≥99.9999%（6N）
分子式： SiF₄
规 格：规格均可定制
简介：是半导体与电子工业关键的超高纯电子特种气体，无色、有刺激性气味，强吸湿性，在潮湿空气中易发烟，兼具毒性与腐蚀性。
主要用途包括：
半导体和集成电路：用于等离子蚀刻剂，P 型掺杂剂，制备多晶硅、外延层，及高纯石英玻璃、硅基材料制备。
化工建材行业：用于制备氟硅酸、氟化铅等氟化物，及水泥、人造大理石硬化剂。
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四氟化硅
冀公网安备13043302000209号