名 称：八氟丙烷
CAS号：76-19-7
纯 度：≥99.999%（5N）/ ≥99.9999%（6N）
分子式： C₃F₈
规 格：规格均可定制
简 介：又称全氟丙烷、R218、FC-218，是半导体高深宽比蚀刻与超低温制冷领域的关键特种气体。
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主要用途包括：
半导体干法蚀刻：专用于SiO₂、SiNₓ等介质层的高深宽比结构蚀刻。选择性极高，对硅基底损伤极小，是3D NAND、先进逻辑芯片制造的必需气体。
CVD 腔体清洁：高效去除反应器内壁的含氟聚合物残留。
超低温制冷剂：深冷设备、科研、医疗制冷；是R508B等超低温混合冷媒的主组分。
医疗应用：眼科手术（视网膜填充）、超声造影剂微气泡。
冀公网安备13043302000209号