名 称： 四氟化碳
CAS号：75-73-0
纯 度： ≥99.999%（5N）/ ≥99.9999%（6N）
分子式： CF₄
规 格：规格均可定制
简介：又名四氟甲烷，是一种超稳定、无色无味、不燃的电子特种气体与超低温制冷剂，也是强效温室气体
主要用途包括：
半导体蚀刻: 作为等离子蚀刻气体，用于硅、二氧化硅、氮化硅等薄膜的刻蚀。
超低温制冷剂: 用于深冷设备、超导磁体、核磁共振仪等，提供-100℃以下超低温环境。
电子行业：用于半导体、太阳能电池制造中的腔体清洁。
绝缘与检漏：高压电气设备绝缘气体、光谱检测的标准示踪气体。
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四氟化碳
冀公网安备13043302000209号